北京正通远恒科技有限公司
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简介Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极荧光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个系统中
简介
Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极荧光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描 电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣"的大视场/快速扫描同时获得扫描电镜成像 与高光谱或全色CL图。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得的阴极荧光 性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微 米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检 测，在大视场（高达300µm）下具有优越的光子收集效率。因此，定量阴极荧光，其中与仪器相关的工件 可以从本质上排除作为光谱特征或对比度的原因，这使阴极荧光变的可信。
Allalin是为那些需要遵循严格的技术路径和快速获取非常精确的光谱信息而设计的， 而这些信息是传统方法无法企及的。 在半导体故障分析、开发和研究中，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和 定位提供了的解决方案。
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