真空机械手/集成电路设备 返回列表页

真空机械手产品概述：

真空机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责真空端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。北京自动化技术研究院研制的真空机械手系列产品分为单轴真空机械手和双轴真空机械手。单轴真空机械手可实现伸展运动；双轴真空机械手可实现伸展和旋转运动。产品具有碰撞检测和自我保护的功能；模块化设计，可以根据客户需求定制，具有高兼容性和高拓展性，可满足对设备升级的要求。

真空机械手/集成电路设备

真空机械手

机械手由轻结构钢管构件、真空吸盘、真空器、电磁控制阀、真空开关等零部件组成。由于严格按照工件和用户的要求设计机械手，所以在设计时采用了标准化的机械人连接接口，而且机械手的真空吸盘可以适合各种不同工件。企业在实践中积累了丰富的机械手设计经验，所设计的机械手*的能与板材吻合，并能毫无问题的与机器人连接，具有很高的刚性和板材输送精度。由于机械手的手臂采用的是钢管结构件，因此运动控制离合器、连接件和横拉杆等部件的重量都减轻了不少，这也进一步地提高了机械手的运动性能，坚守了板材工件运送加速和减速运动过程中的弹性抖动。

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真空机械手

北京京仪集团有限责任公司（简称京仪集团）隶属于北控集团，是集科研、设计、生产制造、、工程设计和系统工程成套为一体的集团公司。

京仪集团的业务模式：一个基础、两翼发展。一个基础：装备制造业务（M），做优以自动化、科学仪器、电力电子等为主业方向的装备制造业务，为产业转型升级奠定坚实的基础。两翼发展：投资运营业务（O）：做强以光伏电站、节能环保为目标市场的投资运营业务，为装备制造业务拓展新的市场和空间。现代服务业务（S）：做精以生产性服务业、科技服务业为核心内容的现代服务业务，为装备制造业务提供技术支撑和资源保障。