上海纳动纳米位移技术有限公司
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| 产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
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高精度压电显微镜扫描台供应商是移动台面有透空通孔的直线压电平台，可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率，且具有非常优秀的运动线性度和平面度，及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别，例如生物识别技术。而且，它具有一个*的特点，在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。
高精度压电显微镜扫描台是移动台面有透空通孔的直线压电平台，可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率，且具有非常优秀的运动线性度和平面度，及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别，例如生物识别技术。而且，它具有一个*的特点，在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。
高精度压电显微镜扫描台供应商特点
•Z轴运动 •开环/闭环可选 •zui大行程110μm •中孔尺寸45mm×45mm
高精度压电显微镜扫描台供应商应用
•纳米定位 •生物科技 •纳米操作 •AFM •纳米压印 •纳米光刻 •显微成像 •共焦显微
技术参数：
产品型号 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 80 μm/轴 | 80 μm/轴 | ±20% | |
行程范围（@-20~+150V） | 100 μm/轴 | 100 μm/轴 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承载能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
刚度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
静电容量 | 1.6 μF/轴 | 1.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本体材质2 | 铝（B）、钢 | 铝（B）、钢 | - | |
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