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SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途
SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途
直线导入机VL-40S，VL-70S，MLM-40ST，VCM-B
规格
焊接回流使用：伸缩方式
精确度：1mm/Rev、0.05mm/div
连接法兰：ICF70（114、152也可制作）
行程：0～40mm
容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下
自动直线导入机WS-80，AVL-80S
其他，根据用途进行设计
规格
焊接回流：伸缩方式
行程：0～80mm
安装法兰：ICF70FH
前端部会根据用途制作
容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下
同轴自动变压机械臂ATL34_80_BN，ATL34_50_BN，MTR-34，VTL-70，ATL-152/114-450ST，ATL34-LS
本产品与以往的直线导入机不同，可动轴贯通，加上可以安装钓鱼等的法兰，使超高真空槽内的直线移动、定位等能够进行各种复合操作，因此附加了安装法兰ICF34可利用一般的送通，与使用电流导入端子的可动型检测器及其他运动导入机组合，可安装2轴动作机器人、气体导入阀等的可动型喷嘴、轻便毛皮等广泛使用。
规格
焊接贝罗使用：伸缩进给滚珠丝杆
精度：重复定位精度±0.01mm
分辨率：半步时0.00001mm/脉冲、限位开关・带原点传感器、使用接近点传感器
行程：080mm BNC付ICF34附属
容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下
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