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TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300

参   考   价: 1536

订  货  量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌其他品牌

厂商性质经销商

所  在  地深圳市

更新时间:2023-05-19 12:13:13浏览次数:1495次

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王小姐

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产地 进口 加工定制
TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300
SiC功率器件热处理设备Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X
清洗机M300,M800;ALD设备SAL1000

TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300

TOYOKOKAGAKU东横化学清洗机M300

SiC功率器件热处理设备Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

清洗机M300,M800ALD设备SAL1000

活化退火设备Ailesic-2000特征:

支持2000°CSiC激活退火。

新开发的加热技术实现了超快速加热和冷却特性。

满足客户对小批量短时间处理的需求。

通过相同的加热技术和高精度温度控制技术实现稳定的工艺性能,有助于稳定生产。

从开发到6英寸高产能量产的丰富阵容。

在大规模生产工厂中的良好运营记录。

应用:活化退火。

CMP浆料供应系统的特点:

并联供电系统稳定供电。通过触摸屏轻松操作。

高精度复合(可从多种复合方式中选择复合方式。)。

自动冲洗功能。透明内胆,内部状态一目了然。

化学恒流量控制装置概述:

化学恒流控制装置主要用于CMP浆料的供给,也可用于纯水、氢氟酸等多种化学物质的混合。

与传统的使用称量罐和混合罐的批量式供应设备相比,该机组具有:

1. 在线混合限度地减少化学品消耗

2. 批量供应设备无需清洗罐

3. 设备尺寸可以减小

M300是一款半自动FOUP/carrier 清洗机,结构紧凑,可一次处理大量工件。可处理晶圆载具、SMIF POD、各种传送箱、300mmFOUPFOSBRSP及各种工件。这是一种批量处理型清洁/干燥设备,其中工件被设置在安装在腔室内被称为柱的架状框架上的插入物中,然后在旋转的同时进行清洁和干燥。刀片的形状因工件而异,只需轻轻一按即可更换,因此可轻松切换对象工件。

特征:高容量/小占地面积。

超净喷雾系统。拥有成本低。

用于干燥的红外线加热器系统。

通过一键式更换刀片支持各种工件。

SAL1000 ALD设备是一款可安装在桌面上的紧凑型研发设备。

内置两种前驱体,沉积性能在φ100以内±3%AlO3)以内。

此外,通过使设备更紧凑,我们减少了零件数量。

特征:

沉积过程可以在前触摸屏上设置,压力和操作状态可以检查。

从抽真空到成膜的设定过程自动进行,成膜完成后,按下排气按钮即可取出基板。

配备2个前驱体系统,兼容基板高达φ4"

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