自动增压器UR-7300 系列

自动增压器UR-7300 系列压力调节器是具有高精度压力传感器、高分辨度和快速反应压电陶瓷做动阀门的电子调节器。它通过接收到的外部控制信号对压力进行控制。气体接触区域的全金属结构设计（金属型号）使这些部件非常适合于那些超纯气供应系统的超洁净环境压力控制。

HORIBA STEC公司的质量流量控制器在流体流速的精确控制方面是非常有名的，并且它在市场的也获得了非常大的*。HORIBA STEC公司将自己的质量流量控制技术运用到了新的领域---压力控制。HORIBA STEC公司的这套压力控制系统包含了超洁净自动压力调节器；对于GR-300系列产品而言，它是通过与质量流量控制器工程师们一起合作而开发的世界上zui小尺寸的芯片背面冷却系统；EC系列产品是为反应室内部控压而设计的排气压力控制器；而PV系列快速反应系统是以金属密封圈封装的压电陶瓷阀门为特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通过多维空间技术设计的流量和压力控制系统。

当压力源发生改变的时候，可以实现快速、准确的压力调整。特别是压力源突然变化的时候，这种快速准确的反应尤为重要。带有压力调整设备的话，由于提供了反应灵敏和压力可调整地特性，可以有效的控制质量流量控制器内的次级压力。此外，在一些非常小的流量范围，如果压力调整分辨率不够高，也容易产生振荡现象。高精度、高反应速度的UR系列产品为大家解决了这个问题，提供了准确和稳定的压力控制。