全自动竖管炉 返回列表页

规格型号/规格

数量

备注

Loadport

对应8寸foup，带Mapping功能，支持AGV/Hot；

1

是否充氮气为选件功能

EFEM

1、外型：1390*2650*700(W*H*D)mm

2、配置Class 100 FFU，

3、配置 离子棒

 1

晶圆机械手

双臂；真空吸附，带Mapping 功能，对应晶圆翘曲度：≤2mm；晶圆材质：硅；晶圆厚度：600~750μm；晶圆重量：55g/片

1

炉体

8寸晶圆100片，12寸晶元75片。

1

石英炉管：Φ380*t5*L1230

1

加热组件：4温区，3点控制，功率：30kw；均匀性：±2℃@400℃；升温速率：5-8℃/min，400-80℃；

   使用温度750℃

1

配置Class 100 FFU，

1

胶质回收

 PCW换热器

1

氧含量

50PPM

1

降温系统

   900m³/h鼓风机，通过28点向加热组件与炉管之间通气，降温速率≤5℃/min，400-80℃

1

控制系统

Windows10及以上系统，配送software及系统，系统故障能及时恢复

1

对于设备各个动作，信号能有I/O 信号查看功能

设备正常运转run货信息，温度记录log，设备event，alarm有查看记录功能

设备分级别管理权限，如操作权限、管理权限，等各权限

支持EAP及AGV/Hot等对接功能