压电稳像扫描运动与控制系统

N62系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。

高动态、高分辨率、高定位精度

N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.5nm，满行程重复定位精度达纳米级。

产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000Hz，满足工业上对高频率高精度等应用的需求。

动态性能好

N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。

技术参数

型号：N62

运动自由度：X、Y

行程范围@120V： ±8μm/轴

行程范围@150V：±10μm/轴

闭环传感器：SGS

通孔尺寸：Ø26 mm

闭/ 开环分辨率：1/0.5 nm

闭环线性度：0.3%F.S

闭环重复定位精度：0.1%F.S

运动方向刚度：X2.2/Y2.2 N/μm

空载谐振频率：X2000/Y2000 Hz

闭/ 开环空载阶跃时间：1.5/0.7 ms

大承载：1kg

静电容量：1.6μF/轴

材质：钢、铝

重量：180g

配套压电控制器

E70.D3S是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。该控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

采用DC24V 供电、集成数字与模拟控制功能、RS-232/RS-422/USB 通讯可选、集成式PZT&sensor 迷你接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。

技术参数

型号：E70.D3S-I2

功能：数字与模拟集成式控制器

通道数：3

模拟输入范围：0-10V

输出电压范围：0-120V/150V第三路恒压

峰值电流：1.1A/通道

平均电流：70mA/通道

放大器带宽：10kHz/通道

输出电压纹波：5mV（2.2μF）

PZT连接器：ECG.1B.314（LEMO）

控制输入连接器：SMB

传感器类型：SGS

伺服特性：P.I+ 低通+ 陷波

传感输出纹波：10mV

通信接口：RS-232/422、USB

工作温度范围：0-50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供电电压：24V DC1.5A(36W)

控制方式：模拟/ 数字信号控制