小体积一维压电旋转台

P21压电旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，旋转角度可达到7.5mrad，承载能力达0.1kg，可带动镜片做精密旋转运动。

产品运动示意图

小体积、高分辨率、高精度

P21一维旋转台采用机构放大设计原理， 可以实现7.5mrad的旋转， 体积小巧、结构紧凑， 尺寸仅为60×60×15mm，非常易于集成到精密旋转设备中。采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度，在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

典型应用

频率负载曲线

应用实例

P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用，组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。

技术参数

型号：P21

运动自由度：θz

旋转角度@120V：6mrad(~1240”)   

旋转角度@150V：7.5mrad(~1500”)

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)

闭环线性度：0.5%F.S.

闭环重复定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

运动方向刚度：1N/μm

空载谐振频率：1.1kHz

闭/ 开环空载阶跃时间：30/1.5ms

承载能力：0.1kg

静电容量：1.8μF

材质：铝

重量：105g