XD602大行程压电纳米定位台，应用于精密定位

XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点，行程范围可达200μm/ 轴，广泛应用于精密定位、微操作等领域。

产品运动示意图

应用

纳米定位

精密定位

微操作/微加工

大行程、高可靠性、高稳定性

XD602为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现每轴200μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。

闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。

技术参数

型号：XD602
运动方向：X/Y/Z

行程范围@120V：160µm

行程范围@150V：200µm

传感器：SGS

开环分辨率：8nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

空载谐频：270Hz

谐振频率@100g：110Hz

50%行程空载使用频率：20Hz

台体材料：铝

工作温度范围：0~50 ℃

承载能力：300g

推荐控制器

XD602系列压电位移台，可搭配芯明天E70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。