美国康宁Corning Tropel Flat Master 200平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flat Master 200平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
美国康宁Corning Tropel Flat Master系列平面度测量系统基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, CORNING 创造并制造出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键检测设备。
美国康宁Corning Tropel Flat Master 200平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flat Master 200平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
Flat Master 200平面度仪产品特点: |
➤ 无接触和无损伤测量 ➤ 适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料 ➤ 适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 ➤ 适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,光滑面 |
Flat Master 200平面度仪可测量多种不同指标: |
➤ 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓 ➤ 完整的分析系统 ➤ 三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度 ➤ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量 ➤ 超过15年的工业应用,几百台的装机量 |
Flat Master 200平面度仪的技术参数: |
1)精度:50nm (2.0μ″) 2)重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma) 3)分辨率:5nm (0.2μ″) 4)可测量工件尺寸:25mm-200mm 5)动态测量范围:>100um 6)测量数据点:230,000 点 / 每次测量 7)测量时间:5秒 8)电源:220V 50Hz |
上海量博实业有限公司专业代理美国康宁CORNING TROPEL平面度仪/平坦度仪等,量博技术服务部与汇聚资源的合作品牌一起,以共同对测量技术的专注和专业,致力于在质量检测和工业领域,为客户提供区域化和化的广泛而的优质产品和服务,确保操作和维护仪器的总体有效性和成本*佳化,增强您测量和检测的可靠性和性能,如需进一步了解,欢迎来电详询。 产品规格 | Tropel FlatMaster 200 |
测量方法 | 斜入射式激光干涉法 |
产品性能 |
精确度 | 50nm (0.05um) |
重复性 | 15nm (0.015um) |
解析度 | 5nm (0.005um) |
测量尺寸 | 5mm~200mm |
测量数据点数 | 230,000点/每次测量 |
测量时间 | 5秒 |
标准测量 | 平面度,线轮廓,面轮廓,球半径,zui高点,zui低点, X-Y坐标,3-D,圆环,局部平面度分析,表面轮廓等 |
材质和表面的要求 |
材质 | 金属,陶瓷,聚合物,玻璃等 |
表面 | 粗磨,研磨,精磨,抛光,精加工 |
反射率 | zui小值为10%(入射角为85度) |
粗糙度zui大限度 | 1.0 μm (40 μ") Ra (typical at 4 μm/fringe) |
重量和尺寸 |
FlatMaster 200 | 76 cm x 65 cm x 34 cm, 75 kg |
可选择的配置 |
扩展范围选项(XR):允许在更大的动态范围内进行测量 扩展精度选项(XA):允许在更高的精度下进行测量 扩展范围和精度选项(XRA):包括了XR和XA的选项 |