当前位置：上海量博实业有限公司>>光学检测>>平面度测量系统>> 美国Corning平面度测量系统FlatMaster 100
Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。
| Tropel Flat master 100平面度仪技术特点及应用领域： | ||
| ➭ 无接触和无损伤测量 ➭ 适用多种类型材料： 半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ➭ 适用多种类型晶片： 硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 ➭ 适用多种类型表面： 研磨表面，抛光面、光滑面 |  |  |
| 可测量多种指标 | 完整的分析系统 | ||
| ● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 压力 | ● 翘曲度 ● 弯曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 线轮廓 ● 表面轮廓 | ● 三维 ● 拓扑 ● 合格率 ● 分布 ● 二维环形 ● 半径切面 | ● 平面 ● 球面 ● 锥形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
| 技术参数： | |
| ➣ 精度：50nm （2.0μ″） ➣ 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ➣ 分辨率：5nm （0.2μ″） ➣ 可测量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ➣ 动态测量范围：>100um ➣ 测量数据点：230,000 / measurement ➣ 测量时间：5秒 ➣ 电源： ～220V 50Hz |  |
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