迈克尔逊激光干涉仪的原理解析

    激光干涉仪原理

 

    “干涉法”是一种利用波（通常是光波、无线电波或声波）干涉现象的测量方法。测量可以包括波本身的某些特性以及波与之相互作用的材料。此外，干涉法被用来描述使用光波研究位移变化的技术。这种位移测量干涉法广泛应用于精密加工中的标定和机械级运动控制。

 

    通过使用两个光束（通常是将一个光束分成两个），当这两个光束重叠时，可以形成干涉图样。由于可见光的波长很短，因此可以检测到两束光之间的光路（行驶距离）的微小变化（因为这些差异将导致干涉图样的显著变化）。

 

    因此，一百多年来，光学干涉测量一直是一种有价值的测量技术。后来随着激光的发明，它的精确度得到了提高。第一次演示使用光干涉原理作为测量工具是由阿尔伯特a.迈克尔逊在1880年通过发展第一个干涉仪实现的。尽管这项技术（和测量精度）已经发展了多年，但迈克尔逊干涉仪的基本原理仍然是干涉测量学的核心。

 

    迈克尔逊激光干涉仪由分束器（半镀银镜）和两个反射镜组成。当光线通过半镀银反射镜/分束器（部分反射）时，它被分成两个光程不同的光束（一个去镜1，另一个去镜2）。在反射镜反射回来之后，这些光束在到达探测器之前，在分束器处再次合并。这两束光的路径差导致相位差，从而产生干涉条纹图。然后探测器对这种模式进行分析，以评估其中一个反射镜的波特性、材料特性或位移（取决于干涉仪用于什么测量）。