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简单介绍什么是激光干涉仪?

2021-01-11标签:激光干涉仪

    激光干涉测量原理+-=++=两列振幅为A1、A2,频率为f,初始相位分别为和的光在空间叠加时的光强为:若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180°(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。
 
    激光干涉仪测量原理
 
    XL-80激光测量回路如下如果测量光路长度改变(角锥反射镜C移动),干涉光束的相对相位将改变,由此产生的相长干涉和相消干涉的循环将导致叠加光束强度的明暗周期变化。角锥反射镜每移动316nm,就会出现一个光强变化循环(明-暗-明)通过计算这些循环来测量移动。
 
    通过在这些循环之间进行相位细分,实现更高分辨率(1nm)的测量。①输入光束②参考光束③测量光束④叠加光束二、激光干涉测量原理为什么要用双频激光干涉仪?
 
    单频激光干涉仪是一种直流测量系统,存在较大的零漂;同时由于空气湍流,机床油雾,切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲,导致激光束强度发生变化,就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数。双频激光干涉仪的信号时交流信号,因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大。
 
    这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。
 
    RenishawXL-80激光干涉仪测量系统简介XL-80基本线性配置XL-80激光头XC-80补偿器三角架和云台线性测量镜组计算机和软件线性测量回路C(移动反射镜)A(分光镜)B(固定反射镜)输出光反射光测量光汇合光线性测量安装方式固定锥角反射镜与分光镜通过安装组件固定在主轴上移动锥角反射镜通过安装组件固定在移动的工作台上调整激光头、分光镜、反射镜在一条直线上为什麼需要补偿?
 
    激光波长是高测量精度的基础,然而激光的波长会受到空气折射率的影响。空气折射率又受到大气压、温度和湿度的影响。
 
    激光干涉仪其中n为空气折射率,c为激光在真空中的光速,λ为波长,f为频率环境补偿单元RenishawXC80环境补偿单元的高性能可以保证在0-40度环境温度范围内,和
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