阐述激光干涉仪的原理

    基于激光干涉仪的旋转轴误差快速检定方法.pdf基于激光干涉仪的旋转轴误差快速检定方法.pdf,为了提升五轴数控机床各旋转轴精度，解决旋转轴几何误差难以测量的问题，提出了一种基于激光干涉仪的旋转轴几何精度快速测量方法。

 

    该方法针对AC双转台和BC摆头转台的结构特性，采用旋转轴与直线轴联动的测量技术，可以避免传统测量方法对旋转轴中心的依赖性，推导了测量中直线轴转角误差与直线度对旋转轴几何误差约束关系，在保证精度的同时减少了测量过程中的设备安装调试时间，实现了五轴机床旋转轴转角误差、重复转角误差以及反向间隙的快速测量和补偿。

 

    对实际五轴机床AC双转台几何精度进行检定，提高了旋转轴的几何精度，实验证明该测量方法具有很强的工程应用价值。;

 

    “干涉法”是一种利用波（通常是光波、无线电波或声波）干涉现象的测量方法。测量可以包括波本身的某些特性以及波与之相互作用的材料。此外，干涉法被用来描述使用光波研究位移变化的技术。这种位移测量干涉法广泛应用于精密加工中的标定和机械级运动控制。

 

    通过使用两个光束（通常是将一个光束分成两个），当这两个光束重叠时，可以形成干涉图样。由于可见光的波长很短，因此可以检测到两束光之间的光路（行驶距离）的微小变化（因为这些差异将导致干涉图样的显著变化）。因此，一百多年来，光学干涉测量一直是一种有价值的测量技术。

 

    后来随着激光的发明，激光干涉仪的精确度得到了提高。第一次演示使用光干涉原理作为测量工具是由阿尔伯特a.迈克尔逊在1880年通过发展第一个干涉仪实现的。尽管这项技术（和测量精度）已经发展了多年，但迈克尔逊干涉仪的基本原理仍然是干涉测量学的核心。