显微轮廓仪的结构简介

    显微轮廓仪结构-检查光洁度用光学显微镜新改进的干涉轮廓仪有哪些特点显微干涉轮廓仪结构的主要要求，是放被检零件的工作台和干涉头联结的刚性要好，必须保证干涉条纹对振动的灵敏度为最小。在调整结构方面，三个相互垂直方向精密移动被检表面13和绕其两轴转动，要求有很灵巧的机构设计。

 

    另外，为了使两路相干光束的光程相等，沿光轴方向精密移动物镜和棱镜也值得注意。检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪在显微干涉轮廓仪里，狭缝成像在被检表面上,这就使我们不仅可以检查有不规则加工痕迹的表面，而且便于圆柱表面的检查。实际上如果狭缝像平行于圆柱母线，则仪器视场中看到直条纹，其宽度是不变的，与圆柱直径无关。

 

    特别有价值的，是显微干涉轮廓仪还可以用来检查光洁度等级高的内圆柱表面，过去，没有检查内回柱表而光洁度的仪器，只能对主要零件进行抽检，先要把它切开，然后在干涉显微镜上检验检查内表面的显微干涉轮廓仪,用三物镜系统(即用于干涉指示仪中的系统)。

 

    这种系统可以采用任意高倍数的显微物镜，此外可避免一支光束倒转显微干涉轮廓仪的缺点，是视场照度明显地比干涉显微镜低得多，因为它不能用在两个方向都扩展的光源，而采用窄的发光狭缝。除此以外，又因采用两面镜，使仪器的制造和调整变得复杂。因此，显微干涉轮廓仪不能够取代干涉显微镜，检查有规则痕迹的表面，采用干涉显微镜还比较合适。