AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪
全自动化&高集成度&可视化光斑
操作简单，测试快速，为一般操作工人设计
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。
采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
主要特点：
液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高
技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试
全自动集成度高，安装维护简便
一键式操作软件，快速简单
自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性
技术参数：
光谱范围：450-1000 nm
多种微光斑自动选择
光斑可视技术，可观测任何样品表面
自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
70度角入射
CCD探测器
高集成度全自动式设计，操作简便，安装快速，自动校验故障
液晶相调制
16个穆勒矩阵参数
1秒内完成全谱测量
MyAuto View可视光斑技术
微光斑，四种可选
一键式操作，一键出报告
