企业概要

Company Profile

总部	堀场制作所 HORIBA, Ltd.
董事会成员	集团会长兼 CEO　堀場厚
	副会长兼集团 COO　齊藤壽一
	董事长兼 COO　足立正之
创立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
总部	601-8510 京都市南区吉祥院宫之东町2番地
注册资本	120.11 亿日元 (截至2020年12月31日)
综合净销售额	1870.8 亿日元 (至2020年12月31日)　» 投资者相关页面
员工数量	8,269 (截至2020年12月31日)
业务范围	生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、体外诊断分析仪和半导体行业使用的测量设备等。HORIBA还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测量与分析设备
结算日	12月31日
上市	东京证券交易所第1部
日本分部	京都总部、滋贺、东京、宫城、枥木、茨城、神奈川、静冈、爱知、大阪、香川、广岛、福冈、熊本
海外分部	奥地利、巴西、加拿大、中国、法国、德国、印度、印度尼西亚、意大利、日本、韩国、波兰、俄罗斯、新加坡、中国台湾、泰国、英国、美国、越南

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在比利时、捷克、荷兰、葡萄牙、俄罗斯、西班牙、瑞典和越南设立分公司
截至2020年12月31日

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产品简介在线询价

外形小巧、运营成本低、应用范围广光掩模（Reticle/Mask）颗粒探测系统PR-PD3系列产品运转效率高，具有*稳定性，受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、*稳定运转的搬运系统，高通过量、可靠性高的光学系统

光掩模（Reticle/Mask）颗粒探测系统PR-PD3-颗粒物监测仪产品详情

光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统PR-PD3

外形小巧、运营成本低、应用范围广光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统PR-PD3系列产品运转效率高，具有*稳定性，受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、*稳定运转的搬运系统，高通过量、可靠性高的光学系统。以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了约1/2，追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm，具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。

光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统PR-PD3特征

和以往机型相比，设计小了1/2左右。和PR-PD2相比较，底面面积小了1/2，实现了小巧化。由于占地面积大幅变小，所以即使添加操作装置(可选件)，也可以自由地进行布局。
实现了低运营成本。采用激光中具有超群经济性的氦氖激光，同时，采用了结构简单的载物台搬运系统等，大幅度地降低了维护运营成本。
有效的防误测措施。搭载有粗图案用的偏振差动和细微图案用的低通差动这二个功能。通过同时使用这二种方法，可以有效地防止OPC等具有两种特性的图案误检测。

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