科研**的观测手段——lyncee 数字全息显微镜可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。
Ø 测量动态三维形貌、复杂运动、膜厚折射率等
Ø 微纳器件动态三维形貌（1000fps）， 还可测MEMS频率响应（高达25MHz）
典型用户
北京大学 搭建平面应变鼓膜
清华大学 微结构表面形貌和运动特性测
lyncee 数字全息显微镜产品特色：
超高速记录动态三维形貌 MEMS测振分析，zui高可达25 MHz | 多种可控环境下测量
测量透明样品三维形貌 |
lyncee 数字全息显微镜参数指标：
系统 | |||
DHM型号 | R1000 | R2100 | R2200 |
激光光源数量 | 1 | 2 | 3 |
工作波长 (± 1.0 nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm | 666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm/ °C (666 nm) | ||
样品台 | 手动或电动XYZ样品台，zui大移动范围 300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物镜 | 放大倍数1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | ||
物镜台 | 6口旋转物镜台 | ||
电脑 | Dell工作站，In® 多核处理器，高性能显卡 针对DHM优化配置，zui小21寸显示器 | ||
软件 | Koala数据采集分析软件，基于C++ 和.NET | ||
数据格式 | 多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式 图像格式包括.tif格式和.txt矩阵格式 | ||
性能 | |||
测量模式 | 单激光波长 666 nm | 双激光合成波长 4.2 μm | 双激光合成波长 24 μm |
可用该测量模式的DHM型号 | R1000, R2100, R2200 | R2100, R2200 | R2200 |
测量精度1 [nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
纵向分辨率2 [nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
测量可重复性3 [nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
动态可测纵向范围 | zui大 200 μm | zui大 200 μm | zui大 200 μm |
zui大可测台阶高度 | zui大 333 nm4 | zui大 2.1 μm4 | zui大 12 μm4 |
适用样品表面类型 | 平滑表面 | 复杂或非连续结构表面 | 复杂或非连续结构表面 |
垂直校准 | 由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm | ||
图像采集时间 | 标准 500 μs (zui快可选10 μs) | ||
图像采集速率 | 标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (zui快可选 1000 帧/秒) | ||
实时重建速率 | 标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (zui快可选 100 帧/秒) | ||
横向分辨率 | 由所选物镜决定，zui大 300 nm** | ||
视场 | 由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm ** | ||
工作距 | 由所选物镜决定，范围从 0.3 至 18 mm** | ||
数码聚焦范围 | zui高50倍于景深 (由所选物镜决定) | ||
zui小可测样品反射率 | 低于 1% | ||
样品照明 | zui低 1 μW/cm2 | ||
频闪模块 | 适用于单光源和双光源模式 | ||
