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S22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率 和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及 振动消除）及光学和样品的静态定位。
特性：
• θx一维偏转 • 大偏转角度4mrad • 亚毫秒响应时间 • 闭环定位精度高
典型应用
• 图像处理与稳定 • 隔行扫描、抖动
• 激光扫描 • 光束偏转
• 光学滤波器/开关
结构原理
小体积、高动态、开环闭环可选平台由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰 链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个 铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高 等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用差分 驱动压电偏转镜。
压电驱动俯仰/偏转台（快反镜/倾斜镜，光束偏转，相移 器）提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽，θx轴偏转范围 为4mrad，偏转分辨率达0.1μrad，开环闭环可选，闭环传感器 包括应变传感器及电容传感器，可获得更高的定位精度。
超小体积设计，具有非常快的响应速度，可带载Ø15mm的 镜片实现0.8ms的阶跃时间。
S22系列压电偏转镜技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | S22.U3S S22.U3K | 单位 |
运动自由度 | θx | ||
标称行程范围（0~120V） | 2.5 | mrad±20% | |
大行程范围（-20~150V） | 4 | mrad±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 0.3/0.1 | μrad | |
闭环线性度 | 0.2/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.15/- | %F.S. | |
空载谐振频率 | 3 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 3/0.8 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
静电容量 | 1.8 | μF±20% | |
材质 | 钢 | ||
重量 | 80 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
