P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦 稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
特点：
• 大行程110μm
• 大承载0.2kg
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高 • 开环/闭环可选
螺纹适配器便于安装
P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显 微镜集成安装。
典型应用
• 三维成像 • 干涉/计量
• 表面结构分析 • 共焦显微
• 生物科技 • 半导体测试
体积小巧、易于集成、高动态、直线性好
P72压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑，可实现 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选，易于与其 他光学显微镜等集成。
台体采用柔性铰链机构，无摩擦且具有*的分辨 率。由于其空载谐振频率可达350Hz，且可带载200g负载 作高速精密运动，在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。
可选择闭环版本，实现超高的定位精度。
频率负载曲线 推荐控制器
E00/E01 | XE-709 | E53 |
页码 157 | 页码 166 | 页码 171 |
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1路输出 | 1路输出 | 1路输出 |
上位机通信、模拟、旋钮 | 模拟、上位机通信 | 模拟、上位机通信 |
开环/闭环 | 开环/闭环 | 开环/闭环 |
平均功率7W/35W | 平均功率15W | 平均功率10W |
P72系列压电物镜定位器技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P72.Z100S P72.Z100K | 单位 |
运动自由度 | Z | ||
标称行程范围（0~120V） | 80 | μm±20% | |
大行程范围（-20~150V) | 110 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 5/2.5 | nm | |
闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
推/拉力 | 110/15 | N | |
运动方向刚度 | 1.4 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 350 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10/3 | ms±20% | |
闭环空载工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
大承载 | 0.2 | kg | |
静电容量 | 3.6 | μF±20% | |
材质 | 钢 | ||
重量 | 150 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
