P76系列压电物镜定位器为大负载压电物镜定位器，负载能力可达500g，Z轴直线运动范围可达110μm，采用柔性铰链设计机构，无 摩擦，直线性好，闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜。
特性：
• 位移行程110μm
• 大负载500g
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高
• 聚焦稳定性好
典型应用
• 三维成像 • 干涉/计量
• 自动聚焦系统 • 共焦显微
• 晶圆切割 • 半导体测试
螺纹适配器便于安装
P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙可选 ，如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显 微镜集成安装。
大负载、高频响、高分辨率
P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径 物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它 极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率，即 使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列 及挠曲和杠杆元件的优化设计，使它具有较高的刚度，同 时保证了优异的导向精度和动态性。
P76压电物镜定位器的大通光孔径为22mm，大 负载为500g，它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用 的大视场物镜。P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、 奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与 手动调节台相结合使用。
技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P76.Z100S P76.Z100K |
单位 |
运动自由度 | Z |
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标称行程范围（0~120V） | 80 | μm±20% | |
大行程范围（-20~150V) | 110 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- |
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闭/开环分辨率 | 5/2.5 | nm | |
闭环线性度 | 0.05/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
推/拉力 | 70/10 | N | |
运动方向刚度 | 0.8 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 800 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 5/2 | ms±20% | |
闭环空载工作频率 | 10%行程 | 400 |
Hz±20% |
行程 | 50 | ||
大承载 | 0.5 | kg | |
静电容量 | 7.2 | μF±20% | |
材质 | 钢、铝 |
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重量 | 520 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
