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四极质谱残余气体分析仪-在线气体分析仪|在线气体检测仪

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  • 型号
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新时间2019-07-27
  • 厂商性质生产厂家
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美国德威尔仪器仪表制造有限公司(Dwyer Instruments,Inc.)是一家对,变送和控制等方面拥有众多精密仪器仪表产品并且在价格上有强竞争力的仪器仪表制造公司。我们拥有众多*的品牌系列,例如,Magnehelic®,Photohelic®   差压仪表和Spirahelic®压力仪表,Rate-Master®,Mini-Master®和Visi-Float®流量仪表,Slack-Tube®和Flex-Tube®压力计,Dwyer®超微差压开关,还有Flotect®流量/液位开关,Hi-Flow®控制阀,Self-tune®温度控制仪和Iso-Verter®信号转换/隔离器等等品牌,现在公司把德威尔(Dwyer)产品分为Mercoid,W.E.Anderson,Proximity Controls和Love Controls四大部分,这些产品广泛应用于除了制造和销售高质量和精密仪器仪表,德威尔(Dwyer)建立了标准并且完善的客户服务系统——包括具有竞争力的价格,知识渊博,礼仪周到的技术支持来保证持续的*的合作关系。

 

 

深圳市利方达科技有限公司是美国Dwyer公司*一级代理商,负责Dwyer仪器仪表在中国的销售。

Dwyer 

1.       //( 压力表/真空表、压差表/压差计、压差表/开关一体化、压差开关/压力开关、压差变送器/压力变送器、压力传感器、倾斜式压力计、便携压差计/压力计、U型管压力计)。2.       (流量计、超声波流量计、流量传感器/累加器、质量流量计、流量开关/水流开关/气流开关)

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产地国产 加工定制
四极质谱残余气体分析仪
特点及应用:
操作简单,方便可靠
在线原位分析真空环境及工艺气体

优化工艺过程参数,提高镀膜产品质量

对真空系统检漏

减少停机时间,提高流片量

价格低廉,极为优异的性价比
四极质谱残余气体分析仪-在线气体分析仪|在线气体检测仪 产品详情

产品介绍四极质谱残余气体分析仪

 特点及应用:
 操作简单,方便可靠 

 在线原位分析真空环境及工艺气体

 优化工艺过程参数,提高镀膜产品质量

 对真空系统检漏

 减少停机时间,提高流片量

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溅射工艺在线质谱分析仪四极质谱残余气体分析仪
SPM-MC溅射工艺在线质谱分析仪是专为镀膜生产等工业应用开发在线溅射工艺四极质谱分析仪。分析室采用超高真空金属密封和无油超高真空分子泵抽气系统,真空系统控制采用单按钮式,全量程自动监测并开启四极质谱。取样系统采用不锈钢波纹管及手动阀门,直接接入工艺真空室采样。分析器采用抗氧化敷钍铱丝双灯丝和法拉第接收杯四极质谱,通过RS232接入笔记本电脑,由的控制软件分析,完成对溅射工艺真空室的分压测量和成份分析:扫描全谱,趋势分析,检漏等。

 

规格:
测量气体范围
XT100(M)             1到100 amu
XT200(M)             1到200 amu
XT300(M)             1到300 amu

检测类型                    法拉第杯(FC)或电子倍增器(EM)
灵敏度(A/mbar)   5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高
分辨率                       1 amu ,10%峰高
小可检分压强         10-11  torr或10-14 torr(电子倍增   
                                  器),氮28,10%峰高
工作范围                    10-4  torr到超高真空
工作环境温度      40°C
烘烤温度                    300°C(不包括CCU)
通讯端口                    RS-232C,115,200 Baud
软件运行环境             Windows® 2000或XP

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