手动光谱椭偏仪价格是一种手动变角光谱椭偏仪和深紫外光谱椭偏仪,具有250-1100nm的波长范围,手动改变入射角。手动spectroscopic ellipsometer光谱范围覆盖从深紫外到可见光再到近红外.深紫外波长非常适合测量超薄薄膜,比如纳米厚度薄膜测量,硅晶圆薄膜厚度测量,典型值在2nm左右。对于测量许多材料的带隙,深紫外光谱椭偏仪也非常重要。
手动光谱椭偏仪价格
易于安装,拆卸和维护
*的光学设计
自动改变入射角,入射角分辨率高达0.01度
高功率250-1100nm光源适合多种应用
采用阵列探测器确保高速测量
测量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于实或在线监测薄膜厚度和折射率
具有齐全的光学常数数据库
提供工程师模式,服务模式和用户模式三种使用模式
灵活的工程师模式用于各种安装设置和光学模型测量
一键快速测量
全自动标定和初始化
精密样品准直界面直接样品准直,不需要额外光学
精密高度和倾斜调整
适合不同材料和不同后的样品衬底基片
2D和3D数据显示输出
手动光谱椭偏仪SE200BM参数
波长范围:250-1100nm
波长分辨率:1nm
测量点大小:1-5mm可调
入射角:10-90度可调
入射角分辨率:0.01度
可测样品大小:高达300mm 直径
可测样品厚度:高达20mm
测量薄膜厚度:0nm ---30um
测量时间:~1s/点
精度:~0.25%
重复精度:<1A