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高精度MTF(调制传递函数)测量仪

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  • 更新时间2021-08-22
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北京特搏万德科技有限公司(TOPVENDOR)成立于2007年,主营硅片、砷化嫁、锗片等半导体晶片,设计生产芯片盒、周转卡塞等。提供半导体工艺加工服务:镀膜、刻蚀、切割等。代理国外半导体行业、光电行业的高精密加工、测量仪器和设备。硅片(氧化、低应力SiN、镀金/铂/铜等金属膜)、砷化钺、磷化锢等IⅢI-V族晶片、锗片等;芯片盒:1-12英寸单片晶圆盒、周转盒、IC Tray、清洗花篮;仪器设备:金刚石划片机、蒸发溅射仪、刻蚀沉积仪器、薄膜应力曲率测量仪、TV、BOW、WARP等全功能全检仪、等离子去胶机、镜头MTF测量仪等。自2007年成立以来,公司已经发展成为一家研发、生产和销售、进出口贸易的产销结合的科技企业公司,公司集科、工、贸为一体,产品已经广泛应用于军、大学、科研机构、航空航天、电子、机械、食品、医院、包装、模具等部门行业,为其实验室建立、规划、产品研发、检验提供了软硬件支持。我们充分考虑到很多客户对产品的急需性,公司投入几百万元,长期保持稳定库存。可时间满足大部分的客户需求。由于品种齐全,质量稳定,服务全面,价格合理,获得了广大客户及用户的信赖。我公司追求的是更高、更稳定的质量、更全面的、专业的服务、更快速的应答。
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高精度MTF(调制传递函数)测量仪
高精度MTF(调制传递函数)测量仪 产品详情

v厂家简介

德国OEG公司成立于1991年,专业设计制造光学测量和半导体测量仪器,产品属于高精密仪器,设计紧凑操作简单,。深受广大科研用户的认可。

产品包括:

Ø 金刚石切片机

Ø 晶圆平整度测量、曲率、应力测量

Ø 光学测量平台

Ø 电子准直镜

Ø 线宽、特征尺寸测量仪

Ø 接触角、表面张力、表面自由能测量仪

Ø MTF测量仪

v高精度MTF(调制传递函数)测量仪

1991年德国OEG公司成立以来,我们一直致力于MTF检测领域。

经过近30年的努力,我们拥有丰富长足的经验,为光学制造业提供稳定的、高质的计算机控制的全自动测量系统。我们可以根据客户检测样品的不同,提供不同的配置方案。

OEGMTF测量台因其精准全面的测量功能,灵活可调的结构方案,受到许多德国当地和大型光学制造商的青睐。除了质量控制,它在教育、研究、实验室等其他部门也有着同样出色的表现。

v高精度MTF(调制传递函数)测量仪

OEG 公司生产的 MTF测量台为客观评估图像质量,提供了轴上及离轴,任意方位角视场,任意物/象共轭的全自动调制传递函数测量。

其适用范围几乎涵盖所有标准的光学镜头,包括至 250mm 的通光孔径,或从可见光到近红外的光谱范围。

v测量原理

系统提供被测透镜的测试图图像。盖图像是由图像分析仪投射到CCD相机上。MTF评估软件根据测到的灰度分布计算MTF等参数。有意义的MTF测量既需要光轴上的测量,又需要图像场上的测量。一个强大的自动测量程序控制软件和MTF计算算法同等重要。

此外,MTF试验台的光学元件和机械元件必须满足高质量要求。OEG公司承诺MTF测试台符合高精度MTF测量的要求!

v技术背景

调制传递函数(MTF)作为*的,评价光学图像质量的标准,其描述了图像分辨率在轴上和在像场上的特征情况。
调制传递函数统一描绘了镜头反差与分辨率的关系。它也可被解释为,以像对比度和物对比度的比值为函数,与余弦光栅的空间频率的关系。空间频率是指,每毫米内能分辨出的线对数(lp/mm)。

v选择MTF的理由

即便是再的设计软件和制造工艺,也无法避免镜片或镜头因制造误差而产生的,对成像质量的影响。随着对成像性能需求的日益增长,通过调制传递函数 MTF 来描绘镜头特性也越来越多地被采用。在光学工业,使用该参数来客观评价光学系统,已然成为一种*的标准。

MTF测量系统允许在实际应用时进行实时测量。在测量中,可以复制或模拟场角位置、光谱范围、物像之间的距离。

MTF测量系统有很大的通用性。除了能够检测 MTF 外,OEG 公司的 MTF 测量仪器还能检测像焦距、色差、畸变、像散、场曲、景深等许多其他光学参数。MTF测量结果可以与光学计算进行比较。

实际的 MTF 测量,就是对测试卡经过镜头所成像进行的评估。测试卡可是一条边或者一个狭缝(十字线)。测试卡图像信号可以通过一个图像处理系统,进行数学计算并且评估。对线扩散函数进行傅里叶变化可以导出光学传递函数(OTF),而调制传递函数则是它的幅度(实数部分)。

OEG-MTF 测量仪的优势:适用于无限远-有限远光路的 MTF Variant、水平结构。

vMTF的实时测量

OEG 公司的MTF的测量系统使用CCD相机作为传感器。图像软件可实时显示测量图像以及线扩散函数、灰度分布等参数和MTF

CCD相机优势是可以实时同时测量MTF矢向和切向。

vOEG-MTF测量系统的优势

l实时MTF测量

OEG公司的MTF系统全部采用CCD相机采集,来代替传统MTF测量中利用机械运动扫描线或边图像的过程。配合OEG公司自主开发的图像分析软件,能够在计算机屏幕上实时显示MTF数据并评估。不仅如此,CCD相机还能实现子午(Meridional)和孤矢(Sagittal)两个方向上数据的同时采集。

l互动与自动模式

MTF测量可以通过交互模式或自动模式进行。自动模式通常适用于同一类型或系列产品的检测,而交互模式则是用于特殊样品的评估。在交互模式下,用户可以利用操纵杆,对MTF测量仪器的全部六个轴进行手动控制,自定义测量区域。MTF曲线图会根据实时图像,直接显示在图表中。测量数据可以和图表一起保存在报告文件里。在自动模式下,用户需事先编辑一个测量模板,其包含了所有例如检测参数类型、方位角、镜头类型等等各种相关的设置。载入准备好的模板后,点击开始,所有测量就会自动进行,无需额外操作。

l全面的功能

OEG公司的MTF测量仪器,能够在计算机屏幕上实时显示MTFESF(边扩散函数)LSF(线扩散函数)等信息,并支持在不同波长间的简便切换,也可以在轴上和像场测量间进行切换。MTF精度达到±0.02,可重复性为±0.01。同时,我们的仪器还提供镜头其他参数如焦距、色差、畸变、景深、场曲等等的测量。为全面评估镜头的真实品质,提供了客观的参考依据。

l针对性的解决方案

我们生产每一台MTF测量仪器,都会事先同客户进行磋商,为不同客户的特殊测量任务需求进行调整。包括焦距范围、光圈值、光源波长、物面与像面的位置等等。

比如«有限远-有限远«光路与«无限远-有限远«光路,他们拥有不同的光学结构。再比如,用于长焦距大光圈的镜头的MTF测量仪器,相较于短焦距的镜头,又有着不同的测量准直仪焦距。再或者,一些客户也许并不需要色差、畸变这类额外的检测功能,等等。

OEG 作为具有多年业内经验的企业,会根据每位客户的实际需求,提供针对性的仪器方案以及的技术支持。

另可提供图像分析软件MTF-Explorer选择,用于检测调制传递函数(MTF)、线扩展函数(LSF)、边扩展函数(ESF),评估分析图像。MTF Explorer是兼容性很强的评估软件。它可加装有现有的,或老式的MTF测量仪器中,也可在不以MTF为主要目的,只作为某一参数标准的特殊测量仪器中使用。当然,它同样适合学校实验,与简单的测试设备结构搭配使用。

v 技术参数

1EFL范围:10~300mm

2、通光孔径:150 mm

3、波长范围:380~780nm

4、视场角sinw):±80°

5MTF测量精度:±0.2%

6、测量重复性:±0.01

7、空间频率:500 lp/mm

8EFL测量精度:±0.5%

v 针对特殊需求的特殊解决方案

经验表明,MTF测试台通常需要定制,因此,供应商和客户要密切合作,以调节实际需求。技术参数必须与测量样品相适应,比如自由孔径、测试样品波长、物像共轭、图像大小、目标场角度、和EFL等。

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