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PEG100 中真空至超高真空真空计 氦质谱检漏仪

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  • 更新时间2023-06-04
  • 厂商性质其他
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PEG100 中真空至超高真空真空计 氦质谱检漏仪 产品详情

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
  • 创新的电极几何形状提供的点火属性
  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
  • 最小化真空计附近的磁场强度
  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发溅射系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型PEG100
测量范围 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度 
10-8 至 10-4 毫巴% of reading±30
压力,()bar10
温度 
运行(环境)°C+10 to +50
贮存°C-20 to +75
无电子设备,烘烤°C350
带电子元件,在法兰处烘烤°C70
供应 
电压V (dc)14.5 to 36
消耗,W<2
输出信号模拟 
输出信号V0 to 10.6
测量范围V0.66 to 10
电压与压强之间的关系volts per decade1.333
连接器FCC 68, female, 8 pin (shielded)
电缆长度,(模拟)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容积cm³ (in.³)21 (1.28)
重量,接近g500
保护类型IP40
DeviceNet™ 
设备类型generic
显示对等网络传讯no
I / O 对等传讯no
配置一致性值no
默认节点恢复no
波特率kBaud125 / 250 / 500
主板 / 扫描器no
I / O 从属传讯: 位触发yes
I / O 从属传讯: 轮询yes
I / O 从属传讯: 周期yes
I / O 从属传讯: 状态改变 (COS)yes
DeviceNet™ 电源V (dc)11 to 25
DeviceNet™ 连接器Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP 
支持的波特率(自动检测)kBaud9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
扩展的用户参数数据byte5
配置: 输入输出数据数量2
同步模式和冻结模式Yes
Profibus 的连接器D-sub, 9 pin
PEG100 中真空至超高真空真空计     
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