气体质量流量计 SFM3200
优异性能的质量流量计(特别在低流量段)
SFM3200质量流量计的特点是其高至250 slm的宽动态测量范围及其低流量段的超高测量精度。
特别设计的流量通道可实现非常低的压损,使其非常适合医疗及其他呼吸类应用。热传感器元件可保证非常快的信号处理速度和双向测量模式,输出信号已经过内部线性化及温度补偿。
SFM3200传感器的性能基于Sensirion的CMOSens® 技术。该技术有助于将传感元件和信号处理电路集成在一个微小的CMOS硅芯片中。从而造就一个适合要求苛刻和成本敏感应用的高度稳定而精确的系统。
性能参数
- 流量范围:高达250 slm(双向测量模式)
- 微流量测量时的性能
- 低压降
- 在可变进气条件下具有很高的鲁棒性和可靠性
- 快速信号处理
- 内部信号线性化和温度补偿
应用
- 吸气流量测量
- 呼吸测量
- 给药
有关医疗市场应用的更多信息。

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