气体质量流量计 SFM5300
适用于大批量成本敏感的OEM项目
SFM5300质量流量计具有的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。
SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。
SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
性能参数
- 低流量的高精确度（< 1 sccm）
- 优良的精度/可重复性（分别为测量值的2% / 0.2%）
- 宽动态范围（量程比1000:1）
- 尺寸紧凑(downmount安装连接)
- 多气体和气体识别
- 数字接口
- 高度可配置
- MTBF 169年-无需再校准
应用
- 分析仪器（如气相色谱、质谱、热分析）
- 科研（如、）
- 工业过程自动化（如涂覆、热处理）
- 半导体产业（如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）
下载中心
您可以从这里下载有关Sensiron气体质量流量计的文件。
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