产品概述：
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操作简易，功能强大
JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS），统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。
产品特点：
专为您的需求而设计的热像仪 | |
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微细结构测量 | |
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标准的全对中样品台，能收录三维照片 | |
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| 从图像观察到元素分析，配合连贯 | |
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维护简便 工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。 可信赖的真空系统 真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。 | |
产品规格：
| 详细技术指标 | |
| 保证分辨率 | 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） |
| 放大倍数 | 5至300,000x |
| 加速电压 | 0.5kV至30kV |
| 电子枪 | 工厂预对中灯丝 |
| 聚光镜 | 变焦聚光镜 |
| 物镜 | 锥形物镜 |
| 样品台 | 全对中样品台 |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋转 | 360° |
| 倾斜 | －10°至＋90° |
| 排气系统（高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排气系统（低真空模式） | DPx1，RPx2 |
