产品概述：
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操作简易，功能强大
新型并且功能强大的 FE-SEM，集超高分辨率成像和强化的分析功能于一体。
产品特点：
- 分辨率：GB 模式下为1.5 nm （1 kV），1.0 nm（15 kV）
- 速电压： 0. 1kV to 30 kV
- 放大倍数： 25到1,000,000x
- 可与冷场FEG SEM媲美的超高分辨率成像在GB 模式下为1.5 nm（1 kV），1.0 nm （15 kV）
- In-lens 热场 FE 枪
- 束光阑角控制镜，不管束流大小，均可获得的电子束照射。
- 电流 200 nA（15 kV）时的分析能力可以支持各种类型的样品分析（WDS、EDS等）
- γ过滤器能控制能量选择或二次电子及背散射电子像的图像混和率
- 柔和光束模式可将电子束对超表面成像引起的损伤降低到程度
- 节能并且环保
| 一般数据 | |
| SEI 分辨率 | 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） |
放大倍数 | 25 到 1,000,000x |
加速电压 | 0.1 到 30 kV |
束流 | 1 pA 到 200 nA（15 kV时） |
光阑角控制镜 | 内置 |
探测器 | 上方和下方探测器 |
能量过滤器 | 新型γ过滤器 |
柔和光束 | 内置 |
数字图像 | 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 |
样品交换室 | 单步加载/卸载 |
样品台 | 全对中，5轴马达驱动 |
类型 | IA | II | III |
X-Y | 70 mm x 50 mm | 110 mm x 80 mm | 140 mm x 80 mm |
倾斜 | -5 到 +70° | ||
旋转 | 360° | ||
工作距离 | 1.5 mm 到 25 mm | ||
真空系统 | 2 SIPs，磁悬浮轴承 TMP、RP | ||
节能设计 | 正常运行：1.2 kVA 休眠模式：1 kVA 操作系统关闭（OFF）：0.76 kVA | ||
