| 测量型金相显微镜 | ||||
| 产品用途 | ||||
| 测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。 | ||||
| 产品特点 | ||||
| ● X、Y、Z轴0.5μm分辨率； ● 可选配白光纳米检测模组； ● Z轴粗调/微调旋钮； ● 同轴表面光/底光测量； ● 内建偏光量测光学模块； ● 可量测透明材质纳米级高度差 | ||||
规格型号 | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
工作行程X、Y、Z轴 | 150*100*120（mm） | 200*100*120（mm） | ||
金属台尺寸 | 210*160（mm） | 260*160（mm） | ||
玻璃台尺寸 | 354*228（mm） | 404*228（mm） | ||
光学尺分辨率 | 0.5μm | |||
示值误差 | X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm） | |||
影像系统 | 彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件 | |||
显微镜系统 | 目镜：10倍 | |||
滤光片：红，蓝，绿，白 | ||||
测量模式：反射，透射，偏光 | ||||
5孔物镜转换器 | ||||
物镜放大倍率误差 | 包括畸变在内的放大率误差≤0.008% | |||
总放大倍数 | 50X——500X | |||
照明系统 | 透射照明光源：白光LED，亮度可调 | |||
同轴照明光源：卤素灯，亮度可调 | ||||
物镜 | ||||
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距离（mm） | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
高度量测模块（选配件） | 光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配） | |||
倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm | ||||
其它参数 | ||||
外形尺寸（mm） | 590*560*850 | |||
仪器重量（kg） | 100 | 110 | ||
电源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W | |||
单层透明膜厚度测量模式 | ||||
高精度测量模式 | 快速测量模式 | |||
厚度测量范围 | 100nm-300nm | 300nm-500nm | 500nm-3μm | 3μm-20μm |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
