| 名称 | 工具显微镜 | 工具显微镜 |
| 型号 | STM-2015M | STM-3020M |
| 货号 | 532-180 | 532-190 |
| X/Y轴行程 | 200x150mm | 300x200mm |
| 分辨率 | 0.0001 mm | |
| 锁紧装置 | X-Y采用精密丝杠传动，工作台带快慢速锁紧装置，无任何回程误差产生 | |
| X/Y轴精度 | (2+L/200) μm; L: 测量长度 | |
| 镜筒 | 反像 (可选正像三目镜筒) | |
| 目镜 | 双目广角目镜WF10X/22mm | |
| 物镜 | 标配:5X,10X, 20X，50X, 可选:100X | |
| 透射光源 | 可调LED光源 | |
| 表面光源 | 可调LED光源 | |
| Z-轴行程 | 标配行程:150mm, 可选200mm行程 | |
| 调焦方式 | 手动调焦 (粗调/微调) | |
| 数显表功能 | 清零, 方向置换 | |
| 仪器电源 | AC220/50HZ; AC110V/60Hz | |
| 可选附件 | 高精度旋转工作台 RT4(D:165mm), RT5(262mm) | |
| 数据处理器DP300 | ||
| 测量软件 QM2.0 | ||
| 0.5X适配镜和CCD相机 | ||
光学参数：
| 名称 | 物镜 | 目镜WF10/22 | |||||
| 数值孔径 N.A. | 有效工作距离W.D.(mm) | 焦距 f(mm)’ | 分辨率 R(um) | 景深 ±△p(um) | 总放大倍数 | 物方视场（mm） | |
| 5x | 0.15 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | 50x | ¢4.4 |
| 10x | 0.3 | 6.3 | 20 | 0.9 | 3.1 | 100x | ¢2.2 |
| 20x | 0.4 | 10.3 | 10 | 0.69 | 1.8 | 200x | ¢1.1 |
| 50x | 0.8 | 2 | 4 | 0.34 | 0.4 | 500x | ¢0.44 |
| 100x | 0.8 | 1.96 | 2 | 0.34 | 0.2 | 100x | ¢0.22 |
