ICSPI通过整合机电一体化系统，将传统AFM集成到一个CMOS芯片上，设计生产出世界单芯片动态原子力显微镜（Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope）nGauge：更小、更快、更强！nGauge集成化原子力显微镜功能强大，操作简便，环境适应性；具有的振动免疫性，更少的漂移，性价比。
产品概述和特点
♦ 集成热压阻共振悬臂梁，可变换，成像时间少于1分钟（无需激光对准）；
♦ 热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近；
♦ 热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖，具有低漂移，适应长时成像实验；
♦ 系统高度集成小巧，具有的振动免疫性，可在任意平面上直接测量，无需隔震；
♦ 氧化铝针尖具有超长使用寿命，可连续成像超过10000张。
nGauge应用方向
技术参数
nGuage AFM参数
扫描范围（XYZ） | 15umx15umx10um |
XY扫描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驱动方式 | 电热法 |
传感器 | 压阻 |
动态RMS噪声 | <1nm |
成像模式 | 间断接触，动态AFM |
扫描速度 | >8lines/s |
硬件参数
系统尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
载物台尺寸（XY） | 70mmx43mm |
Z轴行程 | 20mm |
驱动方式 | 步进电机 |
系统重量 | 450g |
隔震装置 | 无需额外隔震装置 |
