第 3 代 Film Sense 多波长椭偏仪系统现已上市！这一代的主要改进是电动源偏振器，它支持自动校准和区域平均测量。新系统具有与获得的* FS-1 椭偏仪技术相同的优点（长寿命 LED 光源、快速可靠的无移动部件探测器、紧凑型设计和网络浏览器软件界面），同时保持易用性和经济性。
电动源偏振器：
– 提供自动仪器校准
– 实现区域平均测量，以提高测量精度
强度提高 4 倍（与原始 FS-1 相比）和更新的检测器电子设备提供更高的测量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍
FS-1™（第 3 代）椭偏仪
4 个波长，450 – 660 nm 光谱范围（替代原来的 FS-1）
测量 0 – 2 μm 厚度范围内的单层透明薄膜的选择，精度低至 0.0004 nm
*美国zhuan利#9,354,118
FS-1EX™（第 3 代）椭偏仪
6 个波长，405 – 950 nm 光谱范围
2 个较长的波长（850 和 950 nm）能够测量较厚的透明薄膜（高达 5 μm）和吸收半导体薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
薄膜电阻率测量（使用 Drude 模型）也通过 2 个更长的波长得到改进。
手动样品加载和高度调整。
样品尺寸可达 200 毫米直径。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范围内的样品倾斜。
样品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
占地面积小 (180 x 400 mm)，重量轻 (5 kg)。
第 3 代通用规格
紧凑型光学元件：光源 142 x 80 x 60 毫米，探测器 110 x 80 x 60 毫米
简单连接：+5V 墙上插头电源、以太网和源检测器链接电缆电动源偏振器：
– 提供自动仪器校准
– 实现区域平均测量，以提高测量精度
强度提高 4 倍（与原始 FS-1 相比）和更新的检测器电子设备提供更高的测量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍
FS-1 波长
FS-1™（第 3 代）椭偏仪
4 个波长，450 – 660 nm 光谱范围（替代原来的 FS-1）
测量 0 – 2 μm 厚度范围内的单层透明薄膜的选择，精度低至 0.0004 nm
*美国zhuan利#9,354,118
FS-1EX™（第 3 代）椭偏仪
6 个波长，405 – 950 nm 光谱范围
2 个较长的波长（850 和 950 nm）能够测量较厚的透明薄膜（高达 5 μm）和吸收半导体薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
薄膜电阻率测量（使用 Drude 模型）也通过 2 个更长的波长得到改进。
6 个波长和更宽的光谱范围为多层薄膜堆叠提供增强的测量能力
标准异地配置
65° 入射角。手动样品加载和高度调整。
样品尺寸可达 200 毫米直径。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范围内的样品倾斜。
样品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
占地面积小 (180 x 400 mm)，重量轻 (5 kg)。
