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SAMCO二手 ICP刻蚀设备RIE-350iPC现货供应

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  • 更新时间2023-04-11
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公司主营实验室分析检测仪器设备,以实验室整体建设为发展方向。公司目前涉及电子电器、医药生物、石油化工、食品、机械、新材料、环境、科研高校等诸多领域。联合山东医药化工设计院,美国安捷伦、美国热电、日本岛津、江苏天瑞等众多品牌及多个***重点实验室从实验室布局设计出图、基础设施建设、仪器设备供应、方法开发建立、后期运营管理,形成完整的专业实验室建设体系,达到一站式服务,为众多行业客户提供更为完善的整体解决方案。
公司主营产品分为四大类,光谱仪、色谱仪、质谱仪和环境在线检测。
能量色散X荧光光谱仪(EDX)、波长色散X荧光光谱仪(WDX)、等离子体发射光谱仪(ICP)
、光电直读光谱仪(OES)、原子吸收分光光度计(AAS)、原子荧光光谱仪(AFS)、拉曼光谱仪(Raman)、碳硫分析仪(CS)、红外光谱仪、矿浆载流分析仪(OSA)、气相色谱仪(GC)、液相色谱仪(LC)、气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)、液相色谱-质谱联用仪(LC-MS)、电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)、水质在线分析仪(WAOL);
 

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SAMCOICP刻蚀设备RIE-350iPC是一种盒式装载电感耦合等离子体(ICP)蚀刻设备,可处理多达ø350毫米的载盘,用于多晶圆批量处理
SAMCO二手 ICP刻蚀设备RIE-350iPC现货供应 产品详情

SAMCO ICP刻蚀设备RIE-350iPC是一种盒式装载电感耦合等离子体(ICP)蚀刻设备,可处理多达ø350毫米的载盘,用于多晶圆批量处理。

该系统为各种蚀刻应用提供了坚固可靠的硬件和的工艺控制,具有较高的生产率,如功率器件、微型LED、VCSEL、LD、电容器和射频滤波器。


主要特点和优点

加工范围:ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)

*的ICP源HSTC™(Hyper Symmetrical Tornado Coil)能有效地提供均匀的高密度等离子体,并在大面积上具有优异的蚀刻均匀性。

对称的疏散设计与TMP相结合,形成了高效的流动。

优化的气体歧管,提供工艺气体的均匀性。

可选的光学/干涉式端点检测系统可实现对多个工艺运行的精确蚀刻深度控制。

应用

GaN、GaAs、InP和SiC的高精度蚀刻

SiN和SiO2的蚀刻

电介质和金属的蚀刻

用于HBLED的PSS(图案化蓝宝石衬底)加工

关键词:电容器
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