Mattson二手RTP设备AST3000-仪表网

公司介绍主营产品

公司主营实验室分析检测仪器设备，以实验室整体建设为发展方向。公司目前涉及电子电器、医药生物、石油化工、食品、机械、新材料、环境、科研高校等诸多领域。联合山东医药化工设计院，美国安捷伦、美国热电、日本岛津、江苏天瑞等众多品牌及多个***重点实验室从实验室布局设计出图、基础设施建设、仪器设备供应、方法开发建立、后期运营管理，形成完整的专业实验室建设体系，达到一站式服务，为众多行业客户提供更为完善的整体解决方案。
公司主营产品分为四大类，光谱仪、色谱仪、质谱仪和环境在线检测。
能量色散X荧光光谱仪（EDX）、波长色散X荧光光谱仪（WDX）、等离子体发射光谱仪(ICP)
、光电直读光谱仪(OES）、原子吸收分光光度计(AAS)、原子荧光光谱仪(AFS)、拉曼光谱仪（Raman)、碳硫分析仪(CS)、红外光谱仪、矿浆载流分析仪(OSA)、气相色谱仪(GC)、液相色谱仪(LC)、气相色谱-质谱联用仪（GC-MS)、液相色谱-质谱联用仪（LC-MS)、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、水质在线分析仪（WAOL）；

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产品简介在线询价

Mattson二手RTP设备AST3000于2004年开始投入使用，针对于12英寸的晶圆快速热处理设备

Mattson二手RTP设备AST3000 产品详情

Mattson二手RTP设备AST3000于2004年开始投入使用，针对于12英寸的晶圆快速热处理设备。

特点：

适用于 300mm 和 200mm 应用的*单晶片、单腔 RTP 系统

双面晶圆加热可在晶圆上获得出色的工艺效果

通过以下方式实现的温度均匀性：

使用线性灯阵列的腔室设计

晶圆旋转

与晶圆在同一水平面上的晶圆边缘保护环

通过复杂的温度控制精确控制快速热过程的热预算

常压工艺室

真正的桥接工具能力从 200 毫米到 300 毫米

的拥有成本

长寿命灯

Mattson二手RTP设备AST3000

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