激光共焦显微镜
OLS5000激光共焦显微镜可测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍，从而大大提高了生产效率。
高分辨率，成像
凭借对各种类型样品进行3D测量的能力，系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，终实现生产力的提升。
应用：
· MEMS扫描PEAK算法
· 双共焦系统
· Sq噪声（测量噪声）保证
· 准确性和重复性均可保证
· 混合匹配算法
· 混合阻尼机构
· HDR扫描
型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
总倍率 | 54x - 17,280x | |||||
视场直径 | 16 μm - 5,120 μm | |||||
测量原理 | 光学系统 | 反射式共焦激光扫描激光显微镜 | ||||
光接收元件 | 激光 ：光电倍增管（2ch） | |||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 纳米 | ||||
动态范围 | 16 位 | |||||
重复性 n-1 *1 *2 *5 | 5X : 0.45 μm, 10X : 0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | |||||
准确度 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100μm（L: 测量长度 [μm]） | |||||
拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X ： 5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率 : 1.0+L/100 μm（L: 拼接高度 [μm]） | |||||
测量噪声（Sq 噪声） *1 *4 *5 | 1 纳米 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1 纳米 | ||||
重复性 3 n-1 *1 *2 *5 | 5X : 0.4 μm, 10X : 0.2 μm, 20x : 0.05 μm, 50X : 0.04 μm, 100X : 0.02 μm | |||||
准确度 *1 *3 *5 | 测量值 +/- 1.5% | |||||
拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm（L: 拼接长度 [mm]） | |||||
图像解析度 | 4096 x 4096 | |||||
图像拼接像素 | 3600 万像素 | |||||
XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 |
移动范围 | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | 300 x 300 mm | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | |
样品高度 | 100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm | 150 mm | |
激光光源 | 波长 | 405 nm | ||||
输出 | 0.95 mW | |||||
激光安全等级 | 2 级 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
白光光源 | 白光 LED | |||||
电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
质量 | 显微镜主体 | 约 31 公斤 | 约 32 公斤 | 约 50 公斤 | 约 43 公斤 | 约 44 公斤 |
控制箱 | 约 12 公斤 |
