光学数码显微镜DSX1000

远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确度。

放大倍率范围 20–7,000X，可旋转式载物台

 

DSX1000 数码显微镜新增了 5 个物镜，物镜总数达到 15 个。20-7,000X 的放大倍率范围实现了精确观察，而长工作距离物镜则实现了对不规则样品的观察，例如电路板和机加工零件。显微镜头部和载物台都可以旋转± 90°，更易于观察和分析薄样品，如晶圆，或大型样品，如汽车部件。 

可调节的头部和载物台

显微镜头部和载物台可以分别旋转

 

使用高分辨率长工作距离的物镜

长工作距离使用户能够观察不规则形状的电子基板。 

20–7,000X 放大倍率下的晶圆图像对比

可迅速切换物镜和六种观察方式

 

显微镜的电动变焦光路结合了*的观察功能，可实现六种观察方法和对比度增强功能：明场、暗场、MIX、偏光、简易偏振和微分干涉。偏光观察和对比度增强功能可以突出样品表面的不规则和轮廓形貌。例如，此功能可用于在观察晶圆表面较大的不规则形状与细微破损和划痕之间快速切换。从而用户可以观察到使用其他方法难以检测到的对象。

太阳能电池图像对比

（左图：明场观察，右图：偏光观察）

单侧光线照射突出了表面的不规则形状。该项技术适用于观察不规则形状、扭曲的样品和槽口。

集成电路 (IC) 芯片图像对比

（左图：常规；右图：带对比度增强功能）

色彩清晰明亮的图像替代了明暗图像。

 

远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量精确性。*

 

汽车制造商、精密设备和其他产品制造商必须精确测量和分析产品的规格，以证明产品的安全性。DSX1000 数码显微镜使用远心光学系统，在整个放大范围内图像失真极低，实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。为了确保准确度，在完成 DSX1000 显微镜的安装后，奥林巴斯的技术人员将根据客户使用环境对每台显微镜进行校准。 

远心光学系统和非远心光学系统的图像采集对比图

改变聚焦位置不会改变图像大小。

 

     您只需要一台 DSX1000 显微镜就可满足各种观察和分析需要，改善检验的工作流程。镜头数量增加至 15 个，涵盖20-7,000X的放大倍率。用户还可以利用该显微镜的六种观察方法，对各种样品进行观察与测量。比如突出显示样品表面的不规则和轮廓形貌。显微镜头部和载物台可以分别进行± 90°的自由角度调节，从而满足对各种复杂外形样品的任意角度观察。另外，新开发的算法可以实现更快的 3D 图像采集，与奥林巴斯传统数码显微镜相比，速度快了近十倍。最后，我们将根据每位用户的工作环境校准显微镜，以帮助用户实现精确、高效的观察和测量。

舒适的操作性能，传统显微镜。

DSX系列并非操作显微镜本身， 而是通过直观、易懂的GUI 画面菜单进行操作。可根据用户熟练程度选择操作模式， 并通过触摸屏、鼠标、操纵杆等的全新操作方式， 实现了舒适的操作性能。无论是具备显微镜方面的知识和技能的操作人员， 还是对显微镜不熟悉的操作人员， 都能直观的完成操作。

用于不同熟练度和用途的3个操作模式

在DSX系列上，根据用户的熟练程度，优化设计了2个GUI的操作模式："标准模式"和"初级模式"。同时，还配置了可以自定义标准模式，专门用于常规工作的"操作员模式"。此外，根据启动应用程序时输入的ID和密码，可以调出各用户设置的观察、分析和测量条件等环境，显示该用户的常用画面。

初级模式

只要按照画面的提示步骤操作，就能得到输出的模式。

标准模式

为了使显微镜的熟练操作人员能够直观完成操作，按照工作流程配置了必要按钮等的模式。运用电动控制提高了操作速度。

操作员模式

自定义标准模式用于常规工作的模式。可以提高重复性工作的效率。
 

"宏观地图" ，不再遗漏观察位置

无论是提高放大倍率缩小视场范围，还是改变观察方法进行暗视场观察，都不再会遗漏观察位置。观察过程中的位置始终以明视场影像显示在"宏观地图"上，正在观察的部分一目了然。也可以将"全景功能"拼接的影像显示在"宏观地图"上。

"光学变焦"，仅需一个镜头即可实现尺寸的观察

细腻的倍率调节可以随心所欲、毫无压力的完成。采用无缝放大和缩小，改变倍率时不会发生视场遗漏而错过观察位置。DSX510系列以13倍光学变焦搭配30倍数码变焦，实现了高倍观察。仅需一个物镜几乎就可以覆盖传统金相显微镜的倍率范围。可安装两个物镜，相互组合能覆盖更宽的倍率范围。此外，相同倍率下切换物镜，也不会改变视场尺寸。不仅如此，即使是有凹凸的样品，利用专门设计的高NA长工作距离镜头，便可以完成检查和测量而无需担心发生碰撞。
 

"HDR"打造超越目视观察的"清晰影像"

如果仅以加强灯光来处理"暗处泛黑（黑斑）"问题，反而会引起"亮处泛白（飞白）"的新问题。DSX系列的"HDR"（高动态范围）功能，利用变换曝光拍摄的多张图片进行合成，解决了该课题。不但表面微细凹凸得到强调，同时还能消除光晕，获得真实反映样品表面的影像，因而轻松捕捉到以前难以分辨的缺陷。

无论是暗视场影像还是DIC影像，"HDR"都可以一键完成清晰观察。
 
利用"WiDER"实时观察具有亮度差的样品

"WiDER"可以解决实时影像中"黑斑"与"飞白"问题。通过大幅扩展动态范围的的逻辑运算，只需一键单击，就可以消除样品表面亮度差，同时消除光晕，实现了以往难以实现的对明亮部分及黑暗部分的同步观察。DSX510系列采用了全新的智能图像处理技术，不降低帧速率，是实时观察的。

只需一键单击，就可以清晰的实时观察有亮度差的样品
 

单击切换"多种观察法"

为了能够提供适合观察目的的观察法，DSX510上配置了工业检查中所必需的所有主要观察法，不需要传统显微镜上的复杂设置和调节。单击一下就可以切换观察法，所以显微镜的初级操作人员也能够快速得到所需的影像。

可通过简单的操作运用各种观察法。能快速获取所需的高分辨率影像。

DSX1000系列支持工业检查中的主要观察法，并在此基础上搭载了MIX（BF+DF），实现了轻松检测细微瑕疵、缺陷的功能。*的光学系统为用户提供作为检查、测量的根本的高质量影像。除此以外，使用"多图预览"功能，可以在观察各种观察法拍摄的影像一览的同时选择图像，让观察法的选择也变得简单。