ALICAT 气体质量流量计-基本型 10系列
美国ALICAT 10系列基本型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的10系列质量流量计用于快速精确地测量过程气体的质量流量，响应速度可达10ms。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空镀膜 ● 工业炉窑
● 半导体 ● 汽车制造
● 光伏 ● 燃料电池
● 计量 ● 过程工艺气体测量
产品特色
● 低价位产品
● 标配模拟输出方式，数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需10ms
性能指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 单种气体标定，请参考背面气体兼容表
量 程 从0-10SCCM 到 0-20SLPM（）
量程 比 200 : 1
可控流量 128%FS
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
重复 性 ± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
预热时间 <1s
响应时间 10ms
标定工况 25℃ & 100kPa 绝压
工作温度 -10 ～ +50℃
工作湿度 0-99%,无冷凝
标准工作压力 1MPa 表压
标准极限耐压 1.2MPa 表压
中压选项 2MPa
输出信号 标准为模拟信号：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选数字信号 RS-232
供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流 40mA
电气接口 DB15
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
