美国ALICAT 20S系列抗腐蚀型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保
持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可精确、快速测量腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种
流量测控场合。
应用及案例
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半 导 体
● 汽车制造
● 计量校准
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：可优于0.5%
● 可测范围广，0.01~99%
● 满量程超低压损为360Pa
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
精度升级
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度        ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
质量流量高精度           ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
重复性                         ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移       ± 0.03% 满量程 / ℃温差± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移       ± 0.01% 读数 / ℃温差± 0.1 % 读数 / Atm压力差
性能指标
介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类    内置了98种气体，请参考背面
                 一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
测量范围    0.01～99%
显示流量    128%满量程
显  示  屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精       度    ± （0.8%读数 + 0.2%满量程）见上段精度升级部分
                  ± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差
重  复  性    ±（0.2%读数+0.02%满量程）
质量流量温度漂移    0.03%满量程当温度从25℃起每变化1℃
质量流量压力漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar
响应时间    优于10 ms
预热时间    < 1 s
标定工况    25 ℃&1 Atm（可现场在测量范围内随意更改）
工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度    ± 0.75 ℃
工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝
工作压力    0.3 MPa表压，进出口允许瞬时压差70 Kpa
操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度    ±0.5%读数（读数＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
满量程压损    参考详细压损表
数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；
                        模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率    10 Hz
数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压    7 - 30 VDC（如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）
供电电流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
过程连接    详情参考压损表
安装方式    对位置无要求
防护等级    IP40
认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
选项配件
●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
超低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入 (仅用于质量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 (仅用于质量流量控制器)
可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可测量和控制从0.5SCCM到500SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
 
●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
ProfiBUS数字信号输入(仅用于质量流量控制器)
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出 (仅用于质量流量计)
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR、VCO 接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门 (仅用于质量流量控制器)
高流量低压损阀门 (仅用于质量流量控制器)
集成式电位计控制 (仅用于质量流量控制器)
产品大图