ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS型
美国ALICAT 21VS系列带截止阀抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21VS系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度。此外，21VS系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。应用及案例
● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度 优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置128种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
性能指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了128种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（）
量 程 比 100:1
显示流量：102.4%FS
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
阀门泄漏率 不超过1x10 atm scc/sec (He)
重 复 性 ± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
响应时间 100ms 预热时间：<1s
标定工况 25℃ & 100kPa 绝压
20℃ & 100kPa 绝压
0 ℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度 -10 ～ +50 ?C
工作湿度 0-99%,无冷凝
标准工作压力 1MPa 表压
标准极限耐压 1.2MPa 表压
中压选项 2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流 250mA ～ 750mA
电气接口 8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材 质 316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们
