主要功能
根据客户的需求提供5种型号
安装和移机操作方便，安装（30分钟之内完成），安装空间小
短时间内获取高分辨率图像，真空抽取时间3分钟以内，卸载时间1分钟以内
所有型号都可搭载 EDS成分分析系统
维护管理费用低，已经系统管理
性能规格
| 性能规格 | |||||
| Model | SNE-4500M Plus(A) | SNE-4500M Plus(B) | SNE-4500M | SNE-3000MS | SNE-3200M |
| 分辨率 | 5nm | 15nm | |||
| 倍率 | 150,000x | 100,000x | 60,000x | ||
| 接收器 | SE | SE/BSE | SE | SE/BSE | |
| 真空度 | High | High/Low | High | High/Low | |
| 操作轴 | X, Y, R,Z,T: Fully Motorized | X,Y,R,Z,T: Manual | X,Y,R: Manual | ||
| 规格 | |||||
| 操作轴 | X, Y: 40mm Z: 0 ~ 40mm R : 360° T: -45 - 90° | X,Y :40mm R: 360° T:0-45° Z: 0-35mm | X, Y:35mm R : 360° | ||
| 样品尺寸 | 80mm(D) / 50mm(H) | 80mm(D) / 35mm(H) | 70mm(D) / 30mm(H) | ||
| 相机 | Top-View Camera | - | - | ||
| 可变光栅 | 30,50,50,100|im(Variable Type) | 200nm(Single) | |||
| 电子束类型 | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge | ||||
| 加速电压 | lkV ~ 30kV (1/ 5/ 10/15/ 20/ 30) - 6 Step | ||||
| 显示模式 | 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840 | ||||
| 自动功能 | Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness | ||||
| 图像样式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||||
| 真空泵 | Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System) | ||||
应用范围
半导体/电子/汽车：高分子材料，显示技术、纳米技术，硅片，封装，pattern PCB,OLEDl应用
金属/材料：金属类，陶意类，制药，纤维，纳米管，电池
生物/食品：动植物，生物细菌，化妆品
环境、能源、教育、医疗
