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薄膜在线检测系统

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  • 更新时间2023-07-21
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北京燕京电子有限公司成立于1988年,注册资金2124万元,由原电子工业部直属在京的企业组建,隶属于北京电子控股有限责任公司。公司位于北京城东北部酒仙桥的中关村电子城科技园区内,建筑面积2000多平方米,地理位置*,交通便利。自成立22年以来,燕京电子一贯秉承“以科技为先导,以服务为根本”的宗旨,为科研院所和生产企业提供*的仪器设备及解决方案,以其良好的企业形象和品牌价值,发展成了业内*的仪器设备服务商之一。


  燕京电子一直以“科技*”的姿态,将*的仪器、技术和解决方案引入国内,并依托于公司强大的技术力量,为客户创造价值,帮助客户成功。目前,公司已经形成多个产品系列,如电子测量仪器、表面物性分析仪器、生命科学及化学分析仪器、等离子表面处理设备等;产品应用领域包括物理学、光学、材料科学、纳米技术、环境及食品安全等领域;客户覆盖了全国各科研机构、大学实验室和企业研发机构,与他们建立了*的合作关系。

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图片简介我司不仅仅为客户提供实验使用、科研需求的薄膜检测、分析仪器,同时也为广大工业用户提供在线检测的系统方案
薄膜在线检测系统 产品详情

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简介


我司不仅仅为客户提供实验使用、科研需求的薄膜检测、分析仪器,同时也为广大工业用户提供在线检测的系统方案。不仅可在线检测导电薄膜的面电阻、膜厚、薄膜均匀性,并且可集成光学反射率、透过率等的功能。

 

 

规格参数


测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

传感器数目:1 – 99

面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

工作环境:真空 /  非真空  

工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套设备(选配):硬件触发 / 条形码阅读器

选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等

 

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光谱反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

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