KSI 品牌是由德国的 Klaus Kraemer 博士所创立，Klaus Kraemer 博士是是欧洲声学显微技术的，从 1984 年开始一直到现在，近 30 年来，不断推进高分辨 声学检测技术的创新，为半导体、复合材料、生物医学领域，提供声学检测装备和订制化的技术解决方案。Klaus Kraemer 博士本人则堪称欧洲高分 辨声学检测技术历史的活化石。
KSI 公司一直专注于声学显微基础技术的研究与开发，目标是朝更高精度、更高分辨率、更大的产能、设备更加、更加耐用方向发展。这也非常符合德国 人作风，专注、专业、一辈子只做好一件事。 2009 年开发的 FCT 低噪探头技术，能极大地压制探头在水中运动扫描时所产生的水花，显著提高声学图像的品质，并使设备能够持续在高速状态下进行工作， 而不会由于巨大的水花而导致对测试结果的误判。 近年来推出的全新一代 v 系列声学显微系统，灵敏度可以达到 0.3 微米。在噪声控制、弱信号处理技术更上一个新台阶，不需要外置滤波器即可对晶 圆级的缺陷进行高分辨检测，既让图像更清晰，又不遗漏微缺陷。这也是 Ksi 公司多年专注于超声基础技术研发的基础上取得的进展。
扫描范围适中：300mm x 300mm；
磁悬浮超高速机型；
扫描速度：2米/秒；
扫描加速度：30米/秒；
KSI一台机器相当于常规机器2台的工作量。(常规机器小于1米/秒)；
高扫描重复精度：+/-0.1微米（常规机器只能做到0.5微米）；
低噪防误判探头（常规机器没有，无法在高速扫描时去除水花导致的误判）。
一、扫描机械机构
(1) X、Y轴都是由高精度磁悬浮直线电机驱动
(2) X、Y轴一次扫描行程范围：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）
(3) X、Y轴一次最小扫描行程范围：0.2mm×0.2mm
(4) 扫描速率：2000mm/s，扫描加速度30m/s2
(5) X、Y轴扫描重复精度±0.1um
(6) Z轴是高精度自锁步进电机，行程：100mm
(7) Z轴电机重复精度：± 0.25μm
二、 扫描模式
(1) 点波形(A-Scan)
(2) 纵剖扫描(B-Scan)
(3) 横剖扫描(C-Scan)
(4) 斜剖扫描（D-Scan）
(5) 等间隔多层横剖扫描(X-Scan)
(6) 自定义多层横剖扫描，可独立设置不同层面的厚度等参数
(7) 透射扫描
(8) 顺序扫描、托盘扫描、高质量扫描、表面跟踪扫描、全息扫描（实体扫描）
(9) 其它
三、 脉冲信号收发器和换能器
(1) 扫描工作模式：单通道工作模式
(2) 脉冲信号收发器带宽：5MHz～550MHz
(3) 总增益：150dB
四、 主要功能
(1) 测试被测工件内部缺陷，如空洞、分层、裂缝、异物等；
(2) 扫描图像模板功能，轻松获得参数一致的声学显微图像；
五、 其它指标
(1) 保存图像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原厂图像格式)；
(2) 图像采样像素：32000×32000像素 ，可以自定义输入图像分辨率或单个像素尺寸，由设备自动计算所用的图像分辨率。
| 序号 | 名称 | 部件编号 | 说明 | 选配请打v |
1 | 透射扫描模组 | TT-kit | 含透射接收探头一个、透射样品台、其它透射结构件 | |
2 | Jedec样品架 | Jedec Tray | Jedec Tray | |
3 | 晶圆样品台 | Wafer Chunk | Samplestage with wafer chuck | |
4 | 真空吸盘样品台 | Universal Vacuum sample stage | Universal Vacuum-Sample-Stage, incl： -Vacuum Pump21qm/h -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables | |
5 | 三维超声CT成像软件 | KSI 4D software | -Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis -Overview of all layers in extra window | |
6 | 高分辨濾波器 | HTE | Hilbert Transformation Envelope | |
7 | 常规探头 | 5MHz | conventional probe with different focal length | |
8 | 常规探头 | 15MHz | conventional probe with different focal length | |
9 | 常规探头 | 20MHz | conventional probe with different focal length | |
10 | 常规探头 | 30MHz | conventional probe with different focal length | |
11 | 常规探头 | 40MHz | conventional probe with different focal length | |
12 | 常规探头 | 50MHz | conventional probe with different focal length | |
13 | 常规探头 | 75MHz | conventional probe with different focal length | |
14 | 常规探头 | 100MHz | conventional probe with different focal length | |
15 | 常规探头 | 110MHz | conventional probe with different focal length | |
16 | 常规探头 | 125MHz | conventional probe with different focal length | |
17 | 常规探头 | 150MHz | conventional probe with different focal length | |
18 | 常规探头 | 230MHz | conventional probe with different focal length | |
19 | 低噪探头 | 300MHz | conventional probe with different focal length | |
20 | 低噪探头 | 320MHz | conventional probe with different focal length | |
21 | 声学物透探头 | 200MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle | |
22 | 声学物透探头 | 400MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle |
