Diener 等离子表面处理仪 Tetra30-仪表网

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上海尔迪仪器科技有限公司是一家代理经销国内外仪器的专业公司。秉承“销售*仪器、提供优质服务”的宗旨，在制药、化工、环保科研.大学、医学等领域开拓了广泛的市场，并赢得了广大用户的支持和信赖。尔迪在今后的发展中，将贯彻诚信、服务、务实、创新的经营理念，-如既往地把国内外优秀的仪器设备介绍并提供给国内的用户。孜孜追求，不懈努力，不断提高服务水平,为提升用户的检测水平和科研水平贡献各自的绵薄之力，与广大用户共同享受*成果，在互利协作中共同进步。我司代理德国Diener全线等离子表面处理设备，低压等离子表面处理设备: ZEPTO. ATTO. FEMTO、 PICO. NANO. TETRA系列及非标定制型;常压等离子表面处理设备: PL ASMABEAM、PLASMABEAM PC. PLASMABEAM DUO. PLASMABEAM MINI及APC500电晕设备。Diener免费提供500多种工艺参数，在德国总部有多名工艺工程师，并且拥有自已的工艺开发实验室，可以为客户提供完整的工艺参数。尔迪仪器于2015年取得Diener全线产品的售前与售后服务资质(中国唯- )，尔迪仪器提供12小时的响应服务， 24小时的。2016年初，尔迪仪器与Diener共同在上海组建了实验室，为中国客户免费提供售前服务，包括样机试用、产品工艺开发及验证及为客户提供批量处理服务。

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技术应用链接:特点：·便捷的触摸屏操作界面·数字及图标多重工艺参数实时显示方式·异常报警功能·自动/手动操作模式可切换·储存多套工艺程序·远程操控

Diener 等离子表面处理仪 Tetra30 产品详情

技术应用链接:

特点：

·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

·储存多套工艺程序

·远程操控，数据导出

·模块多样化选择，多层托盘可选，处理量大

技术规格：

型号		Tetra 30
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系统	Windows CE	Windows 10
	触摸屏	3.5/7”	15”
工艺气体		O2 Ar N2 Air SF6 CF4等
工艺气路		1-3（可选）	1-10（可选）
流量计		MFC /防腐型MFC
真空腔体		不锈钢W305xD370xH305/34L 不锈钢W400xD625xH140/35L 不锈钢W305xD625xH300/50L 铝合金W305xD370xH300/34L 铝合金W305xD620xH300/50L
电极	材质	铝/不锈钢电极
电极	层数	1-5层（可选） 1-2层 1-5层
发生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
真空压力计（mba)		皮拉尼传感器（0-9.99)
托盘	不锈钢/铝	实板/镂空
托盘	层数	1-5层（可选）
外形尺寸WDH（mm)		600x850x1700(2100)
电源		AC400 V / 16 A
真空泵抽气速度		根据工艺选择
选配件		单体导入模块（亲疏水涂层）、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、石英舟、干泵

关键词：触摸屏控制系统流量计发生器压力计

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