优势特点:
Ø 经济实用
Ø 纯中文操作界面,具有一键成像功能
Ø 自动调整功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
Ø 自动校正、自动故障检测
Ø 低维护、维修成本
项目 | EM6200 | EM6200Z | |
分辨率 | SE:4.5nm (30KV);BSE:6.0nm (30KV) | ||
放大倍数 | 底片放大:15X ~ 250,000X 屏幕放大:30X ~ 500000X | ||
电子枪类型 | 翻开式发叉结构钨灯阴极 | ||
加速电压 | 0 ~ 30KV | ||
透镜系统 | 三级电磁透镜(锥形物镜) | ||
物镜光阑 | 三个光阑可在真空外选择调节 | ||
样品台 | 手动 | X/Y轴自动 | |
行程 | X | 0 ~ 50mm | |
Y | 0 ~ 50mm | ||
Z | 0 ~ 25mm | ||
R | 360° | ||
T | -5° ~ 90° | ||
探测器 | 二次电子探测器,背散射电子探测器(可选),X-ray能谱仪(可选) | ||
真空系统 | 分子泵 |