优势特点:Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小,寿命长。
Ø 采用电子束加速镜筒,低压分辨率高。
Ø 束流稳定度高、色散小,适宜于长时间的各种精确分析,如BSE、EDS、EBSD。
Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金。
Ø 操作简便,仅用鼠标即可完成所有的电镜操作。
项目 | KYKY-EM8100F性能参数 | ||
分辨率 | SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV);BSE:2.5nm(30KV) | ||
放大倍数 | 15x~800,000x | ||
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | ||
加速电压 | 0 ~ 30Kv | ||
自动调整功能 | 聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等 | ||
真空系统 | 2个离子泵,1个涡轮分子泵,1个机械泵 | ||
探测器 | 高真空二次电子探测器(具备保护探测器探头不被碰撞的功能) | ||
样品台 | 五轴样品台(X/Y自动) | 五轴自动台(大样品台) | |
5轴全自动样品台 | X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 60mm | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 50mm | 0 ~ 60mm | |
R | 360° | 360° | |
T | -5° ~ 90° | -5° ~ 75° | |
选配探测器 | 背散射电子探测器,X-ray能谱仪(可选) |