原子层沉积系统手套箱集成系列放心选购技术成熟资质齐-仪表网

公司介绍主营产品

北京正通远恒科技有限公司成立于2001年，是一家经营欧美等国*科学测试仪器和设备，并将技术引入国内的科技服务型企业。目前，公司在北京、上海、广州、深圳、合肥、苏州均设有办事处。

公司用受人尊敬的、专业的方式来经营公司的业务（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主营仪器包括：分子相互作用分析仪器、机器视觉仪器、表/界面分析测试仪器、界面/混凝土流变仪、薄膜沉积与表征仪器等。

公司愿景：公司愿意成为深刻了解客户心理、全面满足客户需求，以应用为基础的专业仪器设备供应商、专有技术提供商，实现公司在行业内的超常规发展。

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设备规格工艺温度：温度范围：RT~500°C（可定制）前驱体路数：支持6路前驱体气路（可定制)

原子层沉积系统手套箱集成系列放心选购技术成熟资质齐产品详情

设备规格
工艺温度：温度范围：RT~500°C （可定制）
前驱体路数：支持6路前驱体气路（可定制)，包含固、液态前驱体源瓶
加热系统：可加热温度范围：RT~150℃
反应物路数：支持2路反应物气路（可定制）
载气：标准：N2, MFC 流量控制（可定制）
压力监测：双薄膜规组合（耐腐蚀)，0.005Torr - 1000Torr
本底真空度 lt;5x10-3 Torr
真空系统：标准油泵
控制系统：19寸显示器，支持触控工业级嵌入式工控机，高可靠性，支持扩展
操作系统：Win7 操作系统工业级可编程逻辑控制器，支持现场总线与实时多任务处理操作
高温加热模块：独立的源瓶加热模块，可支持RT~200℃
预留模块：预留等离子体系统接口，无需更换腔体即可直接升级至等离子体系统（PEALD），实现Thermal-ALD与PEALD的双模式切换

市场与应用
广泛应用于纳米材料、太阳能电池、催化、锂电池、光学镀膜、生物医疗、OLED等方面，可制备出高均匀性、高精度、高保形的纳米级薄膜。

关键词：标准控制系统显示器工控机

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