3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂-仪表网

公司介绍主营产品

总部设于上海，系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术支持与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。

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小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点：超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列适用于半导体生产设备内部

3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂产品详情

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点：

超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列

适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，

有利于实现设备的小型化

机械手臂标准臂长：90mm

同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴使用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数：

使用环境	洁净间内的大气环境
手臂	单臂
到达距离	175mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴行程	150mm
可搬运质量	0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)

如需详细产品参数请联系我们

关键词：机械手标准监视器

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