3轴机械臂真空3轴圆柱坐标型机械手臂-仪表网

公司介绍主营产品

总部设于上海，系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术支持与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。

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真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点：真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系

3轴机械臂真空3轴圆柱坐标型机械手臂产品详情

真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点：

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运

相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势

另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造

机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封：磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指

真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数：

使用环境	真空部：温度 15℃～50℃ 驱动结构内部：洁净间内的大气环境温度 15℃～40℃
手臂	单臂
到达距离	520mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴行程	20mm / 40mm
可搬运质量	2kg (手臂第3关节处基准)

如需详细产品参数请联系我们

关键词：机械手标准过滤器监视器

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